Thermo StificTM K-AlphaTM X射线光电子能谱仪
Thermo StificTM K-AlphaTM X射线光电子能谱仪拥有高性能的微聚焦单色化X射线源,确保分析区域和感兴趣的待分析特征区域紧密匹配。高效的电子透镜系统、半球分析器和多通道检测器实现了无可比拟的高信噪比、一流的检测能力和快速的数据采集。
Al Kα X射线单色器可用于化学态高分辨分析
微聚焦X射线探针可用于绝缘材料的分析
先进的光学观察系统可用于对中样品上微小结构和污染点分析位置
聚焦深度剖析离子源可用于单层和多层膜分析
一键式中和系统可用于精确的小面积分析
128通道探测器用于快速并行快照式采集数据
高性能电子能谱分析中的X射线单色器
用户用K-Alpha X射线单色器可选择30 µm至400 µm大小的分析区域,步长 5 µm。将分析区域调到感兴趣的特征区域,使得信号最强。高效电子光学透镜、半球形能量分析器和探测器使得仪器具有高灵敏探测能力,能快速获得数据。
绝缘样品分析
K-Alpha能谱仪的荷电补偿使得仪器分析绝缘样品就像分析非绝缘样品一样容易。赛默飞科技的专利双束中和源采用离子和极地能量的电子,可使得样品没有荷电积累。在大多数情况下,无需荷电校准。
化学态图像
K-Alpha 能得到表面化学态像。用于分析样品上的微小特征,能得到整个样品台大小的大样品图像。独特的光学观察系统可将XPS像与储存的光学图像重叠在一起,这一强大功能可用于识别和定量分析表面化学组分的分布。
深度剖析
K-Alpha用标准离子源或MAGCIS(可选双模单原子和气体团簇离子源)深入表面层以下进行分析。自动优化源和自动供气确保优良的性能和实验重复性
精准的结果-快速和高效
K-Alpha具有卓越的性能和先进的功能 ,可满足科研和常规测量对XPS需求。直观的操作(由Avantage数据系统导航)使得K-Alpha适合于 多用户、设备共享用户和着重高效操作和大量分析的XPS专家。
三个摄像头方便了样品导航和精确定位。独特设计的光学成像系统操作预存有用户的使用经验,减少了学习的弯路,大大提高了测试效率。
k-Alpha的分析室内安装标准样品,用于必要的校准。只需按下一键,K-Alpha可在数分钟内完成自校准。确保用户数据非常可信。
K-Alpha系统技术参数
分析器 | 样品处理 |
• 180°双聚焦半球分析器 | • 四轴样品台 |
• 高效电子传输透镜系统 | • 最大分析面积为60 x 60 mm |
• 128通道检测器 | • 最大样品厚度为20 mm |
X射线源 | 真空系统 |
• Al Kα微聚焦单色源 | • 2套抽速260 l/s涡轮分子泵 |
• 束斑连续可调(50-400 um,步长为5um) | • 自动开启,三灯丝Ti升华泵 |
• 低功率下实现高性能数据采集(72W) | 操作软件 |
电荷补偿 | • Avantage软件可用于离线数据处理 |
• 双束中和源 | 可选组件 |
• 极低能量同轴电子和Ar+离子 | • 转角样品台用于角分辨XPS |
• 真空转递样品台用于传递空气敏感样品 | |
EX06离子枪 | • 偏压样品台用于测量材料功函数 |
• 能量范围从200 eV至4 keV | • 进样室接口可以连接手套箱 |